开设微机电系统工程的学校有清华大学、北京航空航天大学等。以下是具体开设院校名单，仅供参考！
专业简介：微机电系统工程以机、电技术，尤其是微机械为基础，运用微电子技术和微加工技术，进行微纳米和微机电系统内的一系列微型器件的设计、制造及测试等。
开设课程：微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。
